帶自動點膠8英寸安賽斯可編程勻膠機

產(chǎn)品介紹：

名稱：帶自動點膠8英寸安賽斯可編程勻膠機

型號：HC220PE

應(yīng)用：帶自動點膠8英寸安賽斯可編程勻膠機是在HC220SE的基礎(chǔ)上，增加一路自動點膠系統(tǒng)，滿足小批量實驗制樣的需求。是專業(yè)為8英寸及以下晶圓旋涂制膜設(shè)計（尺寸向下兼容）。采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計；全彩觸屏操作；高級PLC控制；化學(xué)兼容性；高精度，高重復(fù)性。

產(chǎn)品概述：

帶自動點膠8英寸安賽斯可編程勻膠機（spin coater）是一種用于制備高質(zhì)量均勻薄膜的實驗室設(shè)備。它的工作原理是將膠液滴加到旋轉(zhuǎn)的襯底表面上，勻膠機高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力使膠液均勻分布在襯底表面，形成一層納米級或微米級的均勻薄膜。

HC220PE勻膠機旋涂儀，采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計；全彩觸摸屏操作；高級 PLC 控制； HDPE旋涂內(nèi)腔，化學(xué)兼容性；伺服工業(yè)電機，高精度，高重復(fù)性，適合晶元尺寸范圍直徑5-220mm。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

產(chǎn)品特點：

●  設(shè)計緊湊，占地面積最小化；

●  HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔，耐腐蝕，具有化學(xué)兼容性；

●  全彩色8英寸觸摸屏，易學(xué)易用，方便操作；

●  高級PLC自動程序控制，可快速旋涂和多步編程旋涂，運行狀態(tài)實時顯示；

●  采用電機異位驅(qū)動結(jié)構(gòu)，具有電機防進膠保護功能；

●  防進膠設(shè)計，管道易疏通設(shè)計。保護旋轉(zhuǎn)電機不進膠，意外進膠易于疏通；

●  旋轉(zhuǎn)速度、加速度、時間、真空泵關(guān)/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作；

●  真空安全檢測互鎖，當(dāng)真空度不足時，設(shè)備自動停止運行，防止飛片，確保安全。此功能可以在“設(shè)置"中關(guān)閉；

● 蓋子安全互鎖，當(dāng)蓋子開啟時，設(shè)備自動停止運行，并彈出提示，確保安全。此功能可以在“設(shè)置"中關(guān)閉；

●  真空度實時數(shù)顯，真空壓力可調(diào)節(jié)；

●  帶4路自動點膠接口，最多可升級4路自動點膠；

●  可設(shè)置用戶密碼保護功能；

技術(shù)參數(shù)：

●  適用晶元尺寸范圍：直徑5~220mm（更大尺寸可定制）；

●  旋涂速度：0~10000rpm（更高速度可選）；

●  轉(zhuǎn)速分辨率：0.1rpm；

●  旋涂加速度：0-30000rpm/s；

● 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

● 內(nèi)腔直徑258mm，內(nèi)腔采用獨特的凹面防濺設(shè)計；

● 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；

●  設(shè)備尺寸：445mmX300mmX300mm(長寬高)；

●  重量：20Kg；

●  功率要求：800W；

●  HCV500無油真空泵，真空度-92KPa，抽氣速度90L/min；

●  電源輸入：AC200-230V

自動點膠系統(tǒng)參數(shù)：

●  流量范圍：0.006-1340毫升/分鐘；

●  流量精度：＜0.5%；

●  轉(zhuǎn)速范圍：0.1～350（轉(zhuǎn)/分鐘）；

●  轉(zhuǎn)速分辨率：0.1（轉(zhuǎn)/分鐘）；

● 電源電壓：AC 220V±10%,50Hz/60Hz（標(biāo)配）；

●  功 率：小于40W；

●  外控接口：外控輸入電平5V、12V(標(biāo)配)、24V（選配）；

●  外控數(shù)字通訊接口：RS485通訊，支持MODBUS協(xié)議；

●  環(huán)境溫度：0 ～ 40℃ ；

●  相對濕度：＜80%；

●  防護等級：IP31；

●  機箱尺寸：（長×寬×高）255mm×181mm×198mm；

●  重 量：4.7KG。

8英寸可編程勻膠機HC220PE，帶一路自動點膠系統(tǒng)，標(biāo)準(zhǔn)配置包含1臺無油真空泵和3只常規(guī)載物盤，更多產(chǎn)品信息，請聯(lián)系安賽斯工作人員，